Auflichtmikroskop in Portalbauweise
• geschlossener Kreuztisch GT6 100 x 100 mm Hub
• Z-Achse LT5 mit 50 mm Hub
• Videotubus
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Walter Uhl |
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Sonderlösungen
Auf Anfrage entwickeln wir Sondergeräte für die vielfältigsten Anwendungsbereiche.
Dazu zählen z.B. Spezialobjektive, Tubusaufbauten aus unserem Bauteileprogramm, Sonderkreuz-, Hub- und Drehtische, ein- oder mehrachsige Stativaufbauten, Passlochstanzen oder Mikromontageplätze.
Durch unsere eigene Konstruktion, Fertigung, Montage und Service erhalten Sie ein Komplettsystem aus einer Hand.
Hier sind einige Beispiele kundenspezifischer Sonderlösungen:
Auflichtmikroskop zur Waferinspektion
• Hartgesteinstativ in Portalbauweise
• Auflichttubus mit Objektivrevolver
• Vakuum-Waferchuck
Sondermikroskop mit Topografiesensor
sowie einem senkrechten und einem waagerechten Auflichtmikroskop.
• Hartgesteinstativ
• 3 Z-Achsen mit 100 mm Hub
• Kreuztisch mit 150 x 150 mm Hub
• Drehtisch